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UNIPOL-1203化學機械磨拋機

簡要描述:

UNIPOL-1203HUAXUEJIXIEMOPAOJI,SHIYONGYUCMPPINGTANHUAHEPINGHUAHUAGONGYIJISHU, ZHENGJIYANMOBUFENCAIYONGFANGFUCAILIAO,NAIHUAXUEFUSHI,PEIZHIZIDONGDILIAOQIHEJINGMIMOPAOKONGZHIYI,QUANZIDONGCHUMOPINGMIANBAN,CONGJIAGONGXINGNENGHESUDUSHANGTONGSHIMANZUJINGYUANDENGMIANXINGJIAGONGDEXUQIU。

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UNIPOL-1203化學機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術, 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。 

 

產品名稱

UNIPOL-1203化學機械磨拋機

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及下排水

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:無

4、工作臺:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風裝置:不需要

主要特點

1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。

2、超精旋轉軸(托盤端跳小于0.01mm)。

3、設有兩個加工工位,可分別進行控制。

4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。

5、配置自動滴料器,流量速率可視化調整,自動研磨和拋光。

6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調節壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。

7、研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕。

技術參數

主機部分

GPC-100A精密磨拋控制儀

自動滴料器

1、電源:110V/220V

2、功率:400W

3、磨拋盤轉速:10-240rpm

4、磨拋工位:2個

5、擺臂調節檔位:1-15檔

6、托盤端跳:0.008/250mm

7、磨拋盤:Ø300mm

8、修盤環:Ø127.5mm

 

1、載樣盤直徑:Ø103mm

2、載樣盤軸向行程:12mm

3、數顯表精度:0.001mm

4、載樣盤可調加載壓力:0.1kg-2.1kg

5、壓力確認儀有效量程:1g-5000g

6、樣品裝卡方式:真空吸附

7、承載樣件尺寸:

  直徑≤103mm、 厚度≤12mm

8、尺寸:外徑146mm,高266mm

 

SKZD-2滾筒滴料器

1、容積:1.5L

2、流量:0-35ml/min

3、尺寸:170×290×350mm;

  重量:3kg

SKZD-4自動滴料器

1、加液泵:4個

2、料液瓶:600ml/瓶

3、計時范圍:1-999min

4、流量:0.1ml/min-10ml/min

5、尺寸:230×370×450mm;

  重量:10kg

產品規格

1、整套尺寸:950mm×690mm×580mm;

2、重量:90kg

標準配件

1

不銹鋼拋光盤

1個

2

載物盤

1個

3

修盤環

1個

4

SKZD-2滴料器

1個

滴料器

5

SKZD-4自動滴料器

1個

滴料器

6

GPC-100A精密磨拋控制儀

1個

7

拋光墊

(磨砂革、合成革、聚氨酯)

各1片

8

剛玉研磨微粉

0.5kg

9

石蠟棒

4根

可選配件

1、YJXZ-12攪拌循環泵

2、精密測厚儀

3、陶瓷研磨盤

4、玻璃研磨盤

5、磁性樹脂金剛石研磨片

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