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GSL-1800X-ZF2 蒸發鍍膜儀

簡要描述:

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功能特點
  • 采用桌面小型一體化結構,將真空腔體、鍍膜電源及控制系統進行整合設計,體積與一臺A3打印機相仿。
  • 采用電阻式雙蒸發源結構,可快速實現蒸發源的轉換。蒸發單元中裝有兩組蒸發電極可安裝不同的蒸發源,適應相應的鍍膜材料。
  • 配有0.1%精度蒸發電源,并具有恒流輸出功能,對蒸發舟能起到很好的保護作用。
  • 可選配石英晶體膜厚控制儀,在鍍膜過程中對鍍膜速率和膜層厚度進行控制。
  • 可將采集到的鍍膜數據保存到U盤,便于用戶分析控制(選配)。
  • 本機將所有功能設計成標準化模塊,根據用戶不同的需求對相應模塊進行組合,以達到the BEST 的鍍膜環境,并便于用戶維修與維護。
  • 操作控制采用7英寸TFT顯示屏顯示操作界面,觸屏操作,實現全圖形化界面,易用易懂。
技術參數
安裝條件本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
AC220V 50Hz,必須有良好接地
設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥
工作臺落地式,占地面積2m2以上
通風裝置需要
電源AC220V 1500W
蒸發電源功率1000W 5V 200A
蒸發電極有效距離44mm
樣品臺Ø120mm(可旋轉)
膜厚測量精度0.1Å或0.01Å(可選配高精度型)
外接真空機組擴散泵機組(可選配國產110機組或進口機組)(不建議使用擴散泵)
極限真空度>3.0×10-3torr(擴散泵)、3.0×10-4torr(分子泵)(不建議使用擴散泵)
工作真空度5.0×10-3torr
真空接口KF40
使用環境溫度35℃,濕度<75%(相對濕度)不結露,海拔<1500m
尺寸440mm×240mm×260mm(不包括真空機組)
重量約47kg(不包括真空泵)
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